| 注意： 根据内部化学物质的注意事项，因产品材质、规格发生变化，请确认是否合适后再使用。 请勿用于气体，仅用于液体。 由于机身材料的特性，可能会因震动而损坏。 设置时请检查输入输出方向 |
| 材质：PFA |
| 接口形式：扩口连接 |
| 使用温度：95℃ |
| 环境温度：50℃ |
| 功能：气动 |
| 工作压力：3.0Kgf/cm²/5.0Kgf/cm² |
| 气压：3.5-4.5Kgf/cm²/4.5-6.0Kgf/cm² |
| 液体：化学品，去离子水（不要使用泥浆） |
| 符合标准：SEMI F57 |
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